隨著MEMS技術的不斷成熟和全面走向應用，MEMS芯片的量產問題變得越來越重要。顯然MEMS芯片的量產必須在集成電路生產線上進行，但是MEMS芯片制造與集成電路制造相比有明顯不同，這使得集成電路生產線在轉型制造MEMS芯片時會遇到一些特殊的工藝問題。本書主要圍繞如何利用集成電路平面工藝制造三維微機械結構，進而實現(xiàn)硅基M

本書以“新工科建設”需求為導向，設置教材內容，圍繞Matlab/Simulink在控制系統(tǒng)中的應用、機電控制系統(tǒng)的建模與性能分析、控制算法的計算機輔助設計與分析等內容進行編寫，從基本的軟件工具的使用，建模與控制方法的分析與應用，再到實際案例的講解與實踐，內容全面，重點突出。其中，前三章主要是對以MATLAB為主的仿真工

本書是根據工程教育認證理念，遵循培養(yǎng)學生應用實踐能力，根據作者多年的教學經驗及近幾年來教學改革成果編寫而成的。 本書在內容上注意突出應用型特色，并兼顧機械行業(yè)發(fā)展的趨勢。全書共8章，主要內容有：材料力學實驗、機械原理實驗、機械設計實驗、互換性與技術測量實驗、工程材料與成型技術實驗、機械制造技術基礎實驗、液壓與流體傳動

本書主要介紹經典控制理論的基本內容，涉及控制系統(tǒng)的基本原理、分析方法、設計校正及應用實例等。本書共分5章，主要內容包括反饋控制的基本概念、控制系統(tǒng)的數(shù)學模型、控制系統(tǒng)時間響應、穩(wěn)定性、穩(wěn)態(tài)誤差分析、頻率特性分析、系統(tǒng)的綜合與校正。本書旨在培養(yǎng)學生分析和解決復雜工程問題的能力，在理論分析的基礎上，結合機械行業(yè)的工程實際，

"教材以培養(yǎng)應用型、創(chuàng)新型高素質技術技能人才為目標，參照相關國家職業(yè)標準及有關行業(yè)職業(yè)技能等級認定規(guī)范編寫的，結合職業(yè)院校機電專業(yè)學生的學情和學習特點，以工業(yè)自動控制中典型項目為載體，采用項目化課程模式編寫，每個項目分成若干個任務�！叭蝿找�領、項目驅動”的教學方法貫穿于教學全過程。全書涵蓋了機械制造技術、傳感器檢測技術

《機電控制技術（第二版）》以電機為核心，以控制為主線，將機電系統(tǒng)有機結合起來，全面系統(tǒng)地闡述機電系統(tǒng)的控制問題，研究和分析機電系統(tǒng)的特性、控制原理、控制系統(tǒng)設計方法。內容涵蓋機電系統(tǒng)傳動力學、電機的原理與特性、基本控制原理和技術�！稒C電控制技術（第二版）》共10章，內容包括：機電控制技術概述、機電系統(tǒng)傳動力學、直流電機

本書從工程實際應用角度出發(fā)，對機電一體化系統(tǒng)設計、安裝與調試中所涉及到的PLC、傳感器、伺服驅動、現(xiàn)場總線及工業(yè)組態(tài)等相關技術的應用進行認知性介紹。

本書對微納機電系統(tǒng)與微納傳感器領域的主要技術進行了分類闡述，全面總結了技術的發(fā)展現(xiàn)狀，客觀分析了技術的發(fā)展態(tài)勢，從學科的發(fā)展規(guī)律和研究特點出發(fā)，前瞻性地思考了技術的發(fā)展思路與發(fā)展方向，提出了我國發(fā)展該學科的資助機制與政策建議。

本書是按照高等院校“機械工程”專業(yè)研究生培養(yǎng)目標編寫的，講述現(xiàn)代機械控制系統(tǒng)的基本原理、設計方法以及在現(xiàn)代機械工程自動控制系統(tǒng)中的應用。全書共七章，內容包括緒論、機械控制系統(tǒng)的數(shù)學模型、機械控制系統(tǒng)數(shù)學模型求解及分析、機械控制系統(tǒng)的穩(wěn)定性分析、機械控制系統(tǒng)校正與設計、**控制理論基礎、智能控制理論基礎。通過工程應用實例

本書包括ANSYSWorkbench基礎知識、工程數(shù)據、幾何模型創(chuàng)建、網格劃分、線性結構靜力學分析、結構動力學分析、結構非線性分析、綜合應用8部分內容，全書包含33個應用實例，基本涵蓋了ANSYSWorkbench在機械工程領域的基本應用。讀者可以跟隨本書所介紹的分析步驟快速入門，然后通過練習與操作，進一步理解這些內容