集成電路是現(xiàn)代電子技術(shù)的核心，隨著集成電路產(chǎn)業(yè)迅猛發(fā)展，對專業(yè)人才的需求正急劇上升。本書從集成電路制造的工藝、設(shè)備、廠務(wù)3個關(guān)鍵內(nèi)容出發(fā)，融合了集成電路制造的理論基礎(chǔ)和前沿實踐技術(shù)，深入淺出地探討了集成電路制造的全過程。通過大量工藝設(shè)備的使用案例分析、實驗數(shù)據(jù)、設(shè)備操作標(biāo)準(zhǔn)程序和教學(xué)實踐視頻，幫助讀者掌握實際操作。此外，在介紹當(dāng)前主流制造技術(shù)的同時，還深入講解了產(chǎn)業(yè)界量產(chǎn)設(shè)備的基本原理、動力需求和應(yīng)用實踐，使讀者理解產(chǎn)業(yè)界量產(chǎn)設(shè)備與科研設(shè)備的區(qū)別。上�？萍即髮W(xué)材料器件中心聚焦集成電路先進制造領(lǐng)域卓越工程師的人才培養(yǎng)任務(wù)，依托先進一流的設(shè)備資源、資深工程師團隊和豐富的教學(xué)實訓(xùn)經(jīng)驗，聯(lián)合產(chǎn)業(yè)界專家，將集成電路先進制造理論與實踐有機結(jié)合，精心打造本書，旨在為讀者提供全面、深入且實用的學(xué)習(xí)資料。