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微電子概論
本書共6章,以硅集成電路為中心,重點(diǎn)介紹集成器件物理基礎(chǔ)、集成電路制造工藝、集成電路設(shè)計、微電子系統(tǒng)設(shè)計、電子設(shè)計自動化。既介紹微電子器件的基本概念和物理原理,也介紹現(xiàn)代集成電路中先進(jìn)器件結(jié)構(gòu)、現(xiàn)代集成電路和系統(tǒng)設(shè)計方法以及納米工藝等先進(jìn)技術(shù)。
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