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薄膜的設(shè)計、制備及應(yīng)用
本書綜合了國內(nèi)外薄膜光學(xué)和薄膜技術(shù)的研究內(nèi)容、體系,最新的薄膜技術(shù)與理論發(fā)展成就,及時將新技術(shù)融入本教材,針對相關(guān)專業(yè)特點,構(gòu)建了全面且富有特色的內(nèi)容體系。在論述過程中注重基本概念的闡述,敘述深入淺出,注意原理與技術(shù)相聯(lián)系,理論與實踐相結(jié)合。全書共有8章。第1-4章,主要介紹薄膜光學(xué)的基本理論和特性設(shè)計與計算基礎(chǔ),并著重介紹減反射膜、高反射膜、分束鏡和濾光片等幾種實用光學(xué)器件的設(shè)計理論;第5章對常見的薄膜制備方法的基本原理與方式進(jìn)行詳細(xì)介紹,對膜層厚度分布、膜厚監(jiān)控和測試方法進(jìn)行介紹;第6章對薄膜生長過程、生長模式、生長機理及薄膜的結(jié)構(gòu)和缺陷等問題進(jìn)行詳細(xì)討論;第7章探討薄膜的表面和界面問題;第8章對薄膜的光學(xué)常數(shù)、光學(xué)性能、薄膜成分、薄膜結(jié)構(gòu)及薄膜附著力等特性測試方法進(jìn)行闡述;第9章介紹幾種當(dāng)前研究熱點的薄膜材料體系。
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