本書以自行研制的先進光電微納檢測技術(shù)及信號調(diào)制與圖像處理系統(tǒng)為基礎(chǔ)，開展6個光電微納檢測實驗：①數(shù)字波面干涉儀檢測平面鏡面形；②偏振干涉圖像調(diào)節(jié)及處理與系統(tǒng)誤差標定；③數(shù)字波面干涉儀球面面形檢測；④單幅干涉圖相位恢復(fù)實驗；⑤非球面光學(xué)性質(zhì)及通用化檢測；⑥非球面高精度零位干涉檢測。通過實驗，使學(xué)生深刻理解光機電算一體化檢測系統(tǒng)“以光學(xué)原理為核心、電路控制為輔助、計算機及軟件技術(shù)做提升”的特點，掌握光電干涉檢測系統(tǒng)的調(diào)整和實驗方法。